Skaningowy mikroskop elektronowy Phenom XL:
– umożliwia otrzymanie szczegółowych informacji na temat topografii, kontrastu chemicznego oraz składu chemicznego badanej powierzchni;
– zakres powiększenia: od 80 do 100,000 x;
– wielkość komory badawczej: 100x100x65 mm
– ruchoma komora badawcza pozwalająca badać próbki o wymiarach do100x100 mm;
– rozdzielczość: < 20 nm;
– czas ładowania próbki poniżej 60 sekund;
– rozdzielczość obrazu od 456 x 456 do 2048 x 2048;
– zainstalowane detektory BSD, SEM, EDS dostarczają szczegółowych informacji na temat topografii skanowanej powierzchni oraz umożliwiają analizę składu chemicznego próbki.